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技术问答
什么是刚性?
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刚性(Stiffness)顾名思义,就是物体的硬度,或是抗压强度.物体越硬,刚性越高.刚性(Stiffness)是ASML
为什么基座会有高刚性的需求?
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以Scanner来说,机台通常是全Fab内价位最高的,而且机台重量也很重.所以为了使Scanner顺利的运作
防振基座的定义与功能
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定义:系具备强固结构与较大刚性以避免对外力产生过大的振动反应的基座无法减低安装位置的振动
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